本文標題："器件電效率細小電子元件幾何結構輪廓測量顯微鏡"
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器件電效率細小電子元件幾何結構輪廓測量顯微鏡
這種特殊結構的器件，在用載流子濃度和有源層長度的
最佳乘積表示其特征時，最終的熱密度將受到所用長度的影
響。因為，漸近瞬態(tài)溫度與這個長度是線性相關的。和半無
限空間的擴展電阻有關的平衡溫度與這個長度無關，而與該
器件的半徑成線性關系。
在本分析中可能出現(xiàn)的復雜性，是由于半導體材料的熱
導率與溫度成反比關系而引起的。雖然，找出了對于可變電
導率的穩(wěn)態(tài)解，以致可以用線性分析求出所引進的誤差大
小。但是，瞬態(tài)解還是忽略了這個問題。
對幾種幾何結構，已經(jīng)推導出在單一脈沖和周期性激發(fā)
兩種情況下在有源層內的最終的溫度分布。利用歸一化的熱
時間常數(shù)和穩(wěn)態(tài)溫度這兩個可變量，以圖解的形式表示這些
結果。并用有源層的長度和有關的覆蓋層的厚度作為參數(shù)，
計算了用砷化鎵和硅作襯底的，具有特殊幾何結構的熱時間
常數(shù)。
為了更全面地了解這個問題，特別是從材料和幾何結構
上考慮，應當了解由于有源區(qū)內的溫度分布而引起的對某種
器件的限制，并盡可能地使這些影響減至最小。器件電效率
的改善直接與管殼的熱效率有關，因此也與整個散熱器的設
計有關。
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