本文標(biāo)題："光學(xué)法覆層測厚覆層斷面測量金相計量顯微鏡"
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光學(xué)法覆層測厚覆層斷面測量金相計量顯微鏡
光學(xué)法覆層測厚包括覆層斷面的顯微鏡和掃描電鏡測量，光：
切法、干涉法、偏振光法和光度法等光學(xué)裝置的覆層厚度測量。
按被測件是否被破壞，光學(xué)法可分有損測量和無損測量，對于光：
學(xué)透明覆層厚度的測量通常是無損測量。
光度法或稱光電法，它是利用光束通過覆層后反射光強(qiáng)來濺
量覆層厚度。它不僅用于測量厚度，而且是在某些覆層制備過程
中進(jìn)行覆層厚度控制的一種手段。
顯微鏡進(jìn)行光學(xué)成像測量，其質(zhì)量決定于放大倍數(shù)、成像完
善性和鑒別率。
顯微鏡的放大倍數(shù)等于物鏡的放大倍數(shù)和目鏡放大倍數(shù)的i
乘積。
保證物像輪廓明顯和清晰的成像幾何完善性決定于物鏡的質(zhì)．
量，即物鏡消除主要的光學(xué)缺陷色差和球面像差的程度。
顯微鏡的鑒別率主要決定于物鏡的鑒別率，而物鏡的鑒別率．
決定于物鏡的數(shù)值孔徑，孔徑愈大，鑒別率愈高，因而分辨物體
最細(xì)小的細(xì)節(jié)部分能力愈強(qiáng)。在覆層厚度測量中，根據(jù)其厚度晦
范圍與準(zhǔn)確度要求，宜選擇合適的顯微鏡。
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