本文標題："工件影像測量-微細元件檢測工具顯微鏡"
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工件影像測量-微細元件檢測工具顯微鏡
主要設計以數(shù)位投影條紋技術和相位移量測原理，發(fā)展數(shù)位投影微三維輪廓掃描量測系統(tǒng)。
隨著微機電技術的成熟，目前微細元件檢測技術不斷的開發(fā)，本發(fā)展系統(tǒng)藉由整合數(shù)位微鏡芯片(Digital Micromirror Device, DMD)，其具有高亮度、高對比度與高分辨率的特性，提供物體三維量測之結構光源，
由電腦控制條紋輸出，能靈活的控制投影大小與變化條紋，精確的將投影條紋投射在物體表面，
快速進行三維輪廓量測。
由微投影光學鏡組設計構成，能調整投影光源使其聚焦于約1500*2000μm2;~6750*9000μm2;范圍內(nèi)
(分辨率約可達3μm/ pixel)，并投射在物體表面上，依照量測范圍和解析度任意產(chǎn)生理想結構光柵
以適應各種量測需求。另一個特色是能以適應影像擷取角度，有效提升量測之分辨率。
而本系統(tǒng)整合多種相位重建技術，以建立量測物體理想相位重建結果。
量測誤差范圍在3%以下，重復性量測平均誤差12μm以內(nèi)。其三維全場表面量測范圍從4百微米到十幾厘米，
能提供一個精確和快速量測的量測結果。
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